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张钰如
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Professor Supervisor of Doctorate Candidates Supervisor of Master's Candidates
Research Projects
大功率感性耦合等离子体发生器技术, 2024/07/18, 在研
等离子体测试诊断及仿真, 2023/11/29, 在研
线形RPS 等离子体仿真, 2023/12/20, 在研
面向PECVD非晶硅镀膜装备的等离子体数值模拟研发项目, 2022/11/01, 在研
等离子体实验诊断与数值仿真技术服务合同, 2022/08/02, 在研
面向高深宽比刻蚀工艺的超低频容性耦合等离子体源的特性研究, 2022/09/08, 在研
等离子体仿真开发技术及其相关应用研究合同, 2021/04/30, 在研
PECVD非晶硅镀膜装备低气压射频等离子体数模研究, 2021/03/17-2023/07/14, 结题
射频等离子体技术调研咨询项目, 2021/03/12-2022/10/20, 结题
委托年度测试和仿真服务协议, 2020/12/07-2023/07/14, 结题
为等离子体均匀性控制改进, 2021/01/22-2023/07/14, 结题
等离子体增强化学气相沉积工艺过程的优化研究, 2020/04/27-2023/03/24, 结题
面向工业等离子体源的一些关键科学问题的研究, 2019/08/16, 在研
3DHTM等离子体仿真, 2017/07/10-2020/06/30, 结题
甚高频放电中电非对称效应与电磁效应相互作用的研究, 2015/07/03-2017/03/23, 结题
射频容性耦合等离子体放电中电非对称效应机理的研究, 2014/09/25-2017/12/31, 结题
脉冲调制射频电非对称容性放电的理论研究, 2014/09/11-2017/03/22, 结题
CFETRN-NBI负离子源仿真优化设计及实验评估, 2017/07/01-2024/05/15, 结题
高功率微波窗击穿诊断研究, 2018/01/29-2021/01/19, 结题
CO2 加氢还原体系滑动弧等离子体特性与化学动力学研究, 2017/08/17, 结题
二维纳米结构材料等离子激发的动力学模拟, 2017/08/17, 结题
面向刻蚀工艺的脉冲调制射频感应耦合等离子体源的特性研究, 2016/08/17, 结题
大功率低压射频感性耦合负氢离子源的物理基础研究, 2014/12/31, 结题
射频感应耦合等离子体对材料表面上原子再复合行为的影响, 2012/09/25, 结题
带有容性偏压的感性耦合放电的混合模拟方法及实验验证, 2018/08/16-2023/03/31, 结题
感应耦合等离子源仿真模拟合作研究, 2017/04/27, 结题
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